合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 低压化学气相沉积设备以及低压化学气相沉控制方法

低压化学气相沉积设备以及低压化学气相沉控制方法

966   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:30
本发明提供了一种低压化学气相沉积设备以及低压化学气相沉控制方法。根据本发明的低压化学气相沉积设备包括:真空泵;采集器;布置在真空泵与收集器之间的主阀门;工艺导管;以及布置在工艺导管中的气流方向检测装置。根据本发明的低压化学气相沉积设备能够在真空泵突然出现故障时防止工艺副产品的出现、并防止加工中的晶片报废,因此,所述低压化学气相沉积设备能够提高成品率,由此降低工艺成本。
声明：
“低压化学气相沉积设备以及低压化学气相沉控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：用于长时间稳压化学灌浆的设备、方法及所用化学灌浆液
下一个：用外源化学品处理植物的组合物和方法

与 “低压化学气相沉积设备以及低压化学气相沉控制方法” 相关技术

▪ 镍基合金再生料高纯净冶炼装备及方法
▪ 利用稀土冶炼的化选废水回收氟化钙及稀土的方法
▪ 金属冶炼毛坯锭分料装置
▪ 冶炼用直流矿热炉
▪ 金属冶炼炉用具有报警保护功能的冷却系统
▪ 金属冶炼用合金添加装置及添加方法
▪ 用于有色金属冶炼的废料收集处理装置
▪ 热兑生产低微碳铬铁合金冶炼电弧炉
▪ 采用永磁滚筒驱动的矿山物料输送装置
▪ 上下双滚筒永磁干式磁选机

相关化学分析设备推荐

土壤墒情自动监测站
土壤重金属检测仪LD-ZSA
土壤团粒分析仪
山东济南Venctis MX4多气体检测仪
土壤碳通量测量系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪镍基合金再生料高纯净冶炼装备及方法
▪利用稀土冶炼的化选废水回收氟化钙及稀土的方法
▪金属冶炼毛坯锭分料装置
▪冶炼用直流矿热炉
▪金属冶炼炉用具有报警保护功能的冷却系统
▪金属冶炼用合金添加装置及添加方法
▪用于有色金属冶炼的废料收集处理装置
▪热兑生产低微碳铬铁合金冶炼电弧炉
▪采用永磁滚筒驱动的矿山物料输送装置
▪上下双滚筒永磁干式磁选机

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2025绿色低碳冶金技术创新大会
2025绿色低碳冶金技术创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025年03月29日 ~ 31日
第二届全国高纯金属材料制备与应用技术交流会
第二届全国高纯金属材料制备与应用技术交流会
2025年04月11日 ~ 13日
能源材料大会
能源材料大会
2025年04月24日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:127
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:102
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:95
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:93
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:92
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:89
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:88
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:87
10 制样室装修设计技巧
下载:86
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记