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微波增强等离子体化学气相沉积中功率-气压-温度耦合方法

742   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:30
微波增强等离子体化学气相沉积中功率-气压-温度耦合方法,它涉及微波增强等离子体化学气相沉积技术的改进方法。本发明要解决现有的MPCVD技术制备金刚石薄膜过程中,由于基体温度、功率密度和沉积气压对于制备出的金刚石薄膜质量影响大的问题。本发明方法为:步骤一、实验数据采集步骤;二、检测试样质量;步骤三、制备工艺参数关系拟合。本发明的方法可以提高单晶金刚石的生长质量。
声明:
“微波增强等离子体化学气相沉积中功率-气压-温度耦合方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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