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电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化学汽相沉积外延系统与技术

797   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:29
一种宽运行气压范围无离子损伤的ECR微波等离子体增强低温外延系统与技术,系统由腔耦合型ECR微波等离子体源、真空系统、配气系统、检测与分析及计算机数据采集与控制系统组成;配置有带差分抽气结构的RHEED,可实现原子尺度控制生长的原位实时监测。是适于单质和多元素化合物薄膜,复杂层状结构,超薄层微结构材料生长的高精密低温外延系统与技术;还能满足等离子体与生长表面的相互作用等相关基础研究的要求。
声明：
“电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化学汽相沉积外延系统与技术” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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