本实用新型提出一种共聚焦显微拉曼(Raman)和激光诱导击穿光谱(LIBS)联用激光光谱分析仪。该仪器包括显微Raman系统、显微LIBS系统、高分辨率显微成像系统、共聚焦显微光路和具有时间分辨功能的光谱接收系统等,可自动转换白光显微成像观察模式、自动对焦模式、LIBS光谱工作模式、Raman光谱工作模式等。本实用新型的显著特点是利用显微共聚焦系统实现Raman和LIBS紧凑联用,能够实现同一微小位置物质元素和分子结构的定性和定量分析,结合高分辨率成像功能,可以在微米尺度上做空间分辨的元素和物质结构化学分析,得到样品的化学元素、物质结构和物理条件的空间分布图像等完整信息。
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