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用于生化分析的阵列式传感器集成芯片及其制备方法

739   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:54:48
本发明涉及半导体芯片领域，公开了一种用于生化分析的阵列式传感器集成芯片及其制备方法。通过本发明创造，一方面在ISFET传感器中，通过为ISFET场效应晶体管配置一个镜像对称的REFET场效应晶体管，并将两晶体管的参考电极设置在对称中心线上实现共用，可以利用REFET场效应晶体管的敏感响应结果作为参照，排除环境温度、电场噪声和其它非样品溶液因素所带来的影响，提升ISFET传感器的稳定性，另一方面通过为各个ISFET传感器提供一个单独的液体样品容纳孔，可以利用高程孔壁有效阻碍相邻样品溶液的流动性，减少出现交叉污染和电噪声串扰等情况，进而可以有效减小各个ISFET传感器的测量误差，确保对生物或化学物的测量准确性。
声明：
“用于生化分析的阵列式传感器集成芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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