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铜合金材料表层逐层分析方法

1004   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:54:48
本发明提供一种铜合金材料表层逐层分析方法,其包括:选定辉光放电离子源和质谱分析条件,样品处理和样品分析,利用辉光放电离子源使分析样品在阴极溅射作用下均匀地逐层剥离,在高灵敏度的质谱仪系统中,实时记录分析样品质谱峰强度随时间的连续变化信号,采用组成成份和深度双重定标的方法,将这种连续变化信号转化为样品的化学组成随深度的变化,完成黄铜基材上铝青铜膜样品的表层逐层定量分析。本发明选择合适的氩气压力、放电电压、样品溅射斑面直径、样品的测量时间等分析参数可将层间分辨率提高到几干纳米,实现了黄铜基材上铝青铜表层的超薄层逐层分析。
声明:
“铜合金材料表层逐层分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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