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铜合金材料表层逐层分析方法

951   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:54:48
本发明提供一种铜合金材料表层逐层分析方法，其包括：选定辉光放电离子源和质谱分析条件，样品处理和样品分析，利用辉光放电离子源使分析样品在阴极溅射作用下均匀地逐层剥离，在高灵敏度的质谱仪系统中，实时记录分析样品质谱峰强度随时间的连续变化信号，采用组成成份和深度双重定标的方法，将这种连续变化信号转化为样品的化学组成随深度的变化，完成黄铜基材上铝青铜膜样品的表层逐层定量分析。本发明选择合适的氩气压力、放电电压、样品溅射斑面直径、样品的测量时间等分析参数可将层间分辨率提高到几干纳米，实现了黄铜基材上铝青铜表层的超薄层逐层分析。
声明：
“铜合金材料表层逐层分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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