本发明的成像质量分析装置具备:分析执行部(1),对设定在试样(50)上的二维或试样中的三维测量区域(50)内的多个微小区域执行规定的分析,收集数据;第1图像创建部(21),用分析执行部(1)得到的数据创建分别反映试样(50)包含的特定的一个或多个成分分布的一个或多个第1分布图像;运算式存储部(23),至少预先存储包含一个或多个特定成分作为要素的化学反应式、或包含该特定成分的量作为要素的计算式作为运算式;信号值计算部(25),用根据用户指示从运算式存储部(23)获取的运算式,根据构成一个或多个第1分布图像的各微小区域的信号值,算出其他信号值;第2图像创建部(26),基于计算结果创建第2分布图像。
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