本发明公开了一种低碳钢EBSD分析用样品的制备方法,包括以下步骤:(1)试样截取:将截取的试样用砂轮机将待测面磨平;(2)试样磨光:依次经过400#、800#、1200#碳化硅水砂纸磨光;(3)试样清洗:无水乙醇清洗样品,冷风吹干;(4)氩离子束抛光:采用高能氩离子束轰击样品待测面40min~120min进行抛光,得到用于EBSD分析的样品。本方法无需采用机械抛光或电解抛光,也无需使用去应力腐蚀液,整个制样过程避免了酸性化学药品的使用,既安全又环保。采用本方法制备的低碳钢EBSD样品具有很高的解析率,样品标定率达到92‑99%,完全满足EBSD分析需要。
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