本实用新型公开了一种显微光谱分析成像系统,包括图像数据处理器以及分别与所述图像数据处理器连接的光学成像系统和光谱仪系统。本实用新型的有益效果:本实用新型的显微光谱分析成像系统通过将光学显微镜和光谱仪完美的结合在一起,从而使得本系统同时集成了显微镜和光谱仪的功能,进而使得本系统既可观测分析微纳材料表面的形貌结构,又可以同时检测微纳材料表面的光学性能特征,分析其化学成分。
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