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用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备

689   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:50:33
一种研磨系统(20),可具有一转动平台(24);一固定于平台上的研磨垫(30);一固定基材使其正面朝下对着研磨垫的载具头(10);以及一漩涡电流监测系统,该漩涡电流监测系统包括至少部分通过研磨垫的一线圈或一强磁体。一研磨垫,具有一研磨层,和固定于该研磨层上的一线圈或一强磁体。一凹槽可以在该研磨垫里的透明窗中形成。
声明：
“用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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