在具有至少一个与工件(12)间隔一条缝隙(34)布 置的电极(26)的
电化学加工工具组件(10)中,通过在电极和工件 之间施加电位差ΔV使电极通电,一种监测加工的方法包括: 激发至少一个超声波传感器(42)以将超声波引导向电极表面 (102),并且使用该超声波传感器接收从电极表面反射回来的超 声波。该反射超声波包括从电极表面和工件表面反射回来的反 射波。所述方法进一步包括在电极和工件之间的电位差降低之 后,使超声波传感器的激发延迟停留时间 Td。
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