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用于单面化学机械平坦化加工动态感知的监测装置

638   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:13
本发明公开了一种用于单面化学机械平坦化加工动态感知的监测装置，属于超精密加工监测技术领域。本监测装置安装在单面研磨抛光机上，可实现平面光整过程中工件状态的在线实时监测，其特征在于：包括传感器单元：包含至少两种传感器采集监测信号用于联合监测；信号调节单元：对所述采集信号幅值放大、衰减和/或频谱过滤；数据采集单元：对所述信号调节单元处理后的模拟信号转换成数字信号，并进行数字滤波、降噪、存储的数据预处理；处理器单元：对所述数据采集单元预处理后的数据进行模式识别实现工件加工动态指标的可视化。本发明设计的在线实时监测装置具有多传感、抗干扰、高准确性、适用面广、成本低、操作方便、智能化水平高等优点。
声明：
“用于单面化学机械平坦化加工动态感知的监测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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