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半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:12
本实用新型公开了一种半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具，属于气相沉淀装置测孔技术领域，包括治具本体，所述治具本体为一具有厚度的矩形板结构，所述治具本体上一侧设有对称设置的找正孔，所述治具本体中部开设有定位槽，所述定位槽为贯穿于治具本体的圆形通孔；所述定位槽的侧壁连接有定位环，所述定位环为一具有厚度和高度的圆环状结构，所述定位环上端面为阶梯状的台阶卡槽；所述治具本体的一角处连接有定位块，治具本体上定位块所在位置开设有底部定位孔。本治具节省测量时间，测孔位置固定，测量结果准确且有对比性。
声明：
“半导体化学气相沉淀装置金属面板测孔治具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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