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测距器及化学气相沉积设备

1050   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:11
本实用新型提出一种测距器及化学气相沉积设备，其有益效果主要体现在：测距器内体和外体顶端间的高度差可以通过内体和外体的卡位部件相互配合，被很好地维持住，从而能够提高测距器测得的两物体之间的距离精度，如化学气相沉积设备中喷淋头和加热器，减少测量误差；并且内与外体之间的复位弹簧可以使得测距器复位，方便多次测量。
声明：
“测距器及化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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