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原位电化学反应观测芯片

681   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:10
本实用新型公开了一种原位电化学反应观测芯片及其应用。原位电化学反应观测芯片包括基底以及设置于基底上表面的第一电极和第二电极，第一电极具有开口部，至少所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二电极与第一电极之间无直接接触，至少在设置于第一电极开口部内的第二电极具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，所述观测窗口还向下连续贯穿所述基底的上表面和下表面，以及，在所述观测窗口上覆盖有具有微通孔的薄膜。本实用新型采用性质独特的低应力氮化硅薄膜覆盖原来镂空的观测窗口，并在观测窗口上方的氮化硅薄膜上制作了微米级和/或纳米级的通孔阵列，这一改进使得芯片在实际使用中具有了更大的优势。
声明：
“原位电化学反应观测芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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