本实用新型提供了一种用于化学过滤器测量的取样装置,其能置于洁净室内并装载待安装在洁净室内的对应化学过滤器,同时能对其过滤的气体进行取样,如发现不满足要求能便于直接调试、更换化学过滤器。其包括气体采样器,其由上至下依次设有相互密封连接的连接框、FFU风机过滤单元、取样箱体,连接框上方用于密封连接待安装至洁净室的化学过滤器,连接框中间贯通用于连通化学过滤器和FFU风机过滤单元,取样箱体顶部开口用于连通FFU风机过滤单元,取样箱体内容纳有气体采样器,取样箱体上开设有取样门用于取出气体样品。
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