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电化学测量微电极结构及其制作方法

808   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:09
本发明公开一种电化学测量微电极结构及其制作方法，该微电极结构包括：绝缘基底、电极、导电线和绝缘保护层，所述电极和所述导电线设于所述绝缘基底的上方，所述电极和所述导电线相连接，所述绝缘保护层覆盖于所述电极和所述导电线上方；所述绝缘基底上设有若干不连续的空孔，所述若干空孔对应所述电极的位置设置，每一所述空孔均连通至所述电极，其中一个空孔或多个空孔内形成近电极控制部。本发明的电化学测量微电极结构能按需灵活定制微电极电极有效尺度，并维持电极露于空孔或近电极控制部中的材料表面特征，实现微电极的更广泛的材质选用和更丰富的表面状态。本发明的电化学测量微电极结构设计灵活，制作方法易于构建，易于批量生产。
声明：
“电化学测量微电极结构及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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