合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统

化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统

825   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:08
本发明公开了一种化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统，属于集成电路制造技术领域。该化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法，包括：获取芯片在上一工艺阶段的表面形貌参数和研磨液的选择比；获取当前工艺阶段的工艺参数和研磨液的选择比；将芯片的当前表面版图划分为多个连续窗格，分别提取每个窗格的版图特征参数；判断研磨液的选择比是否发生变化，如果是，则根据上一工艺阶段的表面形貌参数、工艺参数、版图特征参数和当前工艺阶段研磨液的选择比，计算芯片在当前工艺阶段的表面形貌参数；根据当前工艺阶段的表面形貌参数对芯片的表面形貌进行评测。该化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法，能够精确地对芯片表面形貌进行评测。
声明：
“化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：测试玻璃化学稳定性的方法
下一个：电化学测试探头

与 “化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统” 相关技术

▪ 辉锑矿基纳米材料及其制备方法与应用
▪ 用于电池锂带的双面离型层离型膜的制备方法和应用工艺
▪ 高容量寡片石墨烯及其低温制备方法
▪ 氢燃料电池储氢介质的切换方法、系统及设备
▪ 干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪ 钨矿选矿筛分装置及方法
▪ 冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪ 圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪ 空间用多结太阳电池及其制备方法
▪ 用于固态电池的复合层合结构及其制备方法

相关化学分析设备推荐

便携式土壤取样钻机
X-r辐射剂量率仪（辐射巡检仪）
便携四合一PGM-2400停产了替代款是什么型号 多气体检测仪
土壤含水率测量仪
创想CX-9600（L）立式真空直读光谱分析仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪辉锑矿基纳米材料及其制备方法与应用
▪用于电池锂带的双面离型层离型膜的制备方法和应用工艺
▪高容量寡片石墨烯及其低温制备方法
▪氢燃料电池储氢介质的切换方法、系统及设备
▪干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪钨矿选矿筛分装置及方法
▪冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪空间用多结太阳电池及其制备方法
▪用于固态电池的复合层合结构及其制备方法

报名参会
更多+

2024国际新型功能材料与器件会议
2024国际新型功能材料与器件会议
2024年12月06日 ~ 08日
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记