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可进行热化学气相沉积的原位测试平台

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:08
本发明提供一种可进行热化学气相沉积的原位测试平台，包括：高温热台反应腔体，其包括热台底座以及真空外罩，该真空外罩包括框架主体以及紧密安装在该框架主体上的入射窗片和出射窗片；陶瓷加热台，安装在热台底座上以承载一样品；温度控制系统，用以实时调节陶瓷加热台的温度；真空系统，用以对高温热台反应腔体内抽真空；反应气体混气系统，用以为高温热台反应腔体内提供热化学气相沉积所需的气源；以及真空测量系统，用以实时监测高温热台反应腔体内的气体压强。本发明可以透过x射线，又可在线调节温度、气压、气流等反应条件，从而能够以在线的方式对热化学气相沉积过程中材料的生长、物相变化等过程进行实时原位的表征与研究。
声明：
“可进行热化学气相沉积的原位测试平台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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