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电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法

744   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:33
本发明公开了一种电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法。本发明首先制备多个互相绝缘的金属薄膜电极，将进行电化学沉积的金属薄膜电极通过电缆连接至电化学工作站，进行电化学沉积，采用形貌扫描设备扫描未进行电化学沉积和已进行电化学沉积的金属薄膜电极的表面，得到扫描高度曲线；对扫描高度曲线进行拉平，得到去掉倾角的形貌曲线；根据去掉倾角的形貌曲线，计算未进行电化学沉积的金属薄膜电极的高度与已进行电化学沉积的金属薄膜电极的高度差，从而得到电化学沉积薄膜的厚度；本发明简单易行，测量精度高；扫描设备的扫描量程为微米级，在此范围内能够实现纳米级的扫描精度，因此能够准确测量出纳米级的电化学沉积薄膜的厚度。
声明：
“电化学沉积纳米薄膜的厚度测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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