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在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置及方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:32
一种在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置,包括:一控制盒,用以接收至少一输入信号,上述控制盒包括一前面板、一电路板,用以接收至少一输入信号并触发一报警信号,上述前面板包括一第一指示器,用以提供上述报警信号,表示探测到化学溶剂泄漏;一托盘,用以搜集泄漏的化学液体,包括多个垂直侧边以及多个腿部,其中至少一腿部是可调整的,使上述托盘的一个角落比上述托盘的其它角落更靠近地面;以及一传感器,用以探测化学溶剂的泄漏以及传送上述输入信号至上述控制盒。
声明：
“在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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