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机械与化学交互作用测量装置

1105   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:31
本发明涉及化学机械抛光技术领域,公开了一种机械与化学交互作用测量装置,包括机架、摩擦力测量部分、杠杆加载部分、往复直线运动的氮化硅小球和三电极部分。本发明的装置可以模拟腐蚀条件下的磨粒磨损性能,实现了同时在线测量电化学参数和机械参数;可以测量化学机械抛光过程中单纯的化学腐蚀量、机械磨损量以及交互作用去除量,从而对化学机械抛光过程中的材料去除机理进行研究。
声明：
“机械与化学交互作用测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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