化学感测装置包括
半导体材料的衬底(1)、形成在衬底(1)中的集成电路组件(2)和光电检测器(3)、衬底(1)上的电介质(4)、在电解质内的布线(5)和电磁辐射源(6)、布置在电介质中或上方的波导(9)和荧光传感器层(14)。波导的一部分被布置为使得由电磁辐射源发射的电磁辐射耦合到波导中。波导的另一部分被布置在光电检测器和荧光传感器层之间。
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