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可实时监测液位的化学品供液罐

999   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:31
本实用新型属于化学品供液罐领域，具体地说是一种可实时监测液位的化学品供液罐，包括罐体、封盖、可伸缩储液筒、执行器位置传感器及被感应零件，可伸缩储液筒设置于罐体的内腔中、且上端开口而下端密封，被感应零件设置于可伸缩储液筒的下端，执行器位置传感器安装于罐体的外部、并检测被感应零件的高度位置。被感应零件在可伸缩储液筒的下端随可伸缩储液筒上下移动，通过执行器位置传感器测出被感应零件的高度位置，进而得出可伸缩储液筒内腔中液体的高度大小。该过程中执行器位置传感器输出模拟量信号，转换成的液位高度曲线可为线性、连续，可对罐体中液体的液位进行实时监测，以便随时补充液体，从而完成对晶圆的不间断加工。
声明：
“可实时监测液位的化学品供液罐” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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