合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置

用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置

871   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:30
本发明公开了一种用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置，包括气相沉积系统和用于检测衬底温度的测温装置，所述的气相沉积系统包括密闭腔室，在密闭腔室的内部设有基片台，基片台端面用于放置衬底，基片台的底部固定用于驱动基片台运动的旋转轴，旋转轴的另一端从密闭腔室的底部伸出；所述的测温装置为红外测温仪，在密闭腔室的侧壁设有测量通道，测量通道的端部设有观察窗，所述红外测温仪的探头与所述观察窗对正。该装置可用于热丝化学气相沉积过程中，衬底表面温度的测定。通过采用红外测温的技术，实时无损的监测该温度在反应过程中的变化情况。该技术属于非接触式测量技术，不会对反应过程中基片台的其它行为(如旋转、升降等)产生影响。
声明：
“用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：监测复合固体推进剂化学老化程度的气敏薄膜及其制备方法
下一个：聚氨酯砂浆地坪材料抗化学性能测试装置

与 “用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置” 相关技术

▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪ 离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪ 炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪ 勘测地质用探入式矿石分析仪
▪ 硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪ 深部矿产资源勘查分析装置
▪ 地质钻探取管装置及取管方法

相关化学分析设备推荐

土壤水分含量测试仪
H-MD400在线式硫氧分析仪
多功能土壤呼吸检测仪 土壤测试仪
管式土壤水分测量仪 土壤监测仪
场发射扫描电子显微镜
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪勘测地质用探入式矿石分析仪
▪硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪深部矿产资源勘查分析装置
▪地质钻探取管装置及取管方法

报名参会
更多+

2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:124
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:99
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 制样室装修设计技巧
下载:84
10 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记