合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置

用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置

822   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:30
本发明公开了一种用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置，包括气相沉积系统和用于检测衬底温度的测温装置，所述的气相沉积系统包括密闭腔室，在密闭腔室的内部设有基片台，基片台端面用于放置衬底，基片台的底部固定用于驱动基片台运动的旋转轴，旋转轴的另一端从密闭腔室的底部伸出；所述的测温装置为红外测温仪，在密闭腔室的侧壁设有测量通道，测量通道的端部设有观察窗，所述红外测温仪的探头与所述观察窗对正。该装置可用于热丝化学气相沉积过程中，衬底表面温度的测定。通过采用红外测温的技术，实时无损的监测该温度在反应过程中的变化情况。该技术属于非接触式测量技术，不会对反应过程中基片台的其它行为(如旋转、升降等)产生影响。
声明：
“用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：监测复合固体推进剂化学老化程度的气敏薄膜及其制备方法
下一个：聚氨酯砂浆地坪材料抗化学性能测试装置

与 “用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置” 相关技术

▪ TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪ 集成式重介质选矿机组
▪ 利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪ 棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪ 智能型火试金灰吹炉
▪ 砷锑金矿矿浆电解
▪ 氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪ 废气处理用的活性炭吸附一体机
▪ 破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪ 基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

相关化学分析设备推荐

多气体检测仪
土壤酸度计
PF计 土壤监测仪
土壤水分温度盐分三参数仪
土壤测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪TC4，TC16钛合金紧固件用棒丝材
▪集成式重介质选矿机组
▪利用低品位磷矿生产土壤调理剂/重金属钝化剂技术
▪棕刚玉定向破碎自动化生产线
▪智能型火试金灰吹炉
▪砷锑金矿矿浆电解
▪氧化镍矿金属化还原-磁选镍铁新技术
▪废气处理用的活性炭吸附一体机
▪破碎机或粉磨机用锤头或辊套、柱碎机及柱磨机
▪基于稀疏贝叶斯学习与功率谱分离的风机叶片故障检测方法

报名参会
更多+

先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
2024年07月19日 ~ 21日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记