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包含拉曼光谱原位测量腔的化学气相沉积装置

716   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:30
一种包含拉曼光谱原位测量腔的化学气相沉积装置，所述装置包括传动装置、用于对薄膜材料进行化学气相沉积反应的反应腔和用于对薄膜材料进行拉曼光谱原位监测的监测腔，所述反应腔和监测腔相连通，所述反应腔中设置有反应底座，所述监测腔中设置有拉曼光谱监测模块；所述反应底座用于作为薄膜材料生长的基底；所述传动装置用于控制反应底座在反应腔与监测腔之间移动；所述拉曼光谱监测模块用于对移动到监测腔的薄膜材料进行拉曼光谱原位监测。本发明提供一种包含拉曼光谱原位测量腔的化学气相沉积装置，解决了在不影响薄膜生长的条件下对薄膜进行原位拉曼检测，进而可实时调整工艺以减少缺陷。
声明：
“包含拉曼光谱原位测量腔的化学气相沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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