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实时测量并控制增重速率的化学气相沉积装置及方法

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:30
本发明涉及一种化学气相沉积装置及方法,尤其是涉及一种能够实时测量并控制多孔碳预制体增重率和增重速率的化学气相沉积装置及方法,适合于碳/碳复合材料或者碳/碳化硅复合材料在化学气相沉积过程的增重率和增重速率的检测,并可对沉积或渗透过程进行控制。其特征在于包括一套化学气相沉积炉、一套电子地中衡和一套工控机所构成的系统。本发明的优点在于:(1)能够实时测量增重率和增重速率;(2)能够自动识别沉积是否完成;(3)节约时间提高效率;(4)优化化学气相沉积工艺参数;(5)依据沉积速率的变化自动识别判断沉积过程发生的化学反应特征,并对供水、供气、供电、升降温程序等进行相应调整,达到智能控制。
声明：
“实时测量并控制增重速率的化学气相沉积装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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