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化学机械研磨异常探测装置

693   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:30
一种化学机械研磨异常探测装置包括:电动机;逆变器;控制电路,控制逆变器输出的交流电流及工作与否;转速传感器,将电动机的转速转换为转速信号并输出至控制电路;电流探测器,检测电动机的交流电流,并且输出电流信号至中继控制器,中继控制器因此向机械研磨控制器输出驱动信号,机械研磨控制器因此输出停机信号至控制电路。使得能及时探测到晶片在研磨的过程中发生刮伤或破裂的情况,以减少晶片因研磨受损的数量。
声明：
“化学机械研磨异常探测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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