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测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的方法

682   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:29
本发明提供了一种测量化学气相沉积炉内原料蒸发量的方法，本发明提供的方法采用测量组件对化学气相沉积炉的原料蒸发量进行测定，通过测定固体原料变为液体时的位移，以及液体蒸发过程中的位移，得到原料的蒸发量。本发明提供的方法采用的测量组件，其浮球组件设置在固体原料的顶部，能够实时反映原料的液面的变换；测量组件中的位移传感器组件探出化学气相沉积炉，从而能够实现对大设备、高炉膛的化学气相沉积炉的使用要求。而且得到的检测结果更加准确，能够实时反映原料的变换，从而精确的控制反应过程中原料的比例，提高产品的性能。
声明：
“测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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