本发明公开了一种具有单分子灵敏度的化学吸附反应测试系统,包括配气单元、进样和定容单元、吸附反应单元、真空发生单元和系统控制单元。其中,配气单元包括多路进气入口、混合气出口和质量流量计;进样和定容单元包括密封阀、六通阀、压力传感器、定容腔和出口;吸附反应单元包括密封阀、吸附反应器和程序控温炉;真空发生单元包括密封阀、
真空泵以及尾气出口;系统控制单元包括数模转化模块和可视化操作的控制终端。本发明还提供了使用该测试系统进行化学吸附反应测试的方法,能在分子尺度下对朗格缪尔式吸附及表面反应进行定量化测试。
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