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化学气相蒸镀工序中的源物质量测量方法

869   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:31
本发明提供一种在将由保存在源物质蒸发部中的源物质蒸发出的源气体提供给蒸镀室执行薄膜蒸镀的化学气相蒸镀工序中,测量源物质蒸发部中剩余的源物质量的方法。本发明的方法的特征在于,包括(A)将源物质蒸发部(110)内的气体压力维持在第1压力的阶段、和(B)往源物质蒸发部(110)中提供测量气体从而将源物质蒸发部(110)内的气体压力维持在第2压力的阶段;根据源物质蒸发部(110)内的气体压力从第1压力到达第2压力时为止的测量气体的供给量或供给时间,测量源物质蒸发部(110)中剩余的源物质(120)的量。
声明：
“化学气相蒸镀工序中的源物质量测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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