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MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法

1034   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:30
本发明提供了一种MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法，该电极芯片包括一个支撑基板、在该支撑基板的至少一个表面依次排列的N层电极层和位于相邻两个电极层之间的N?1层绝缘间隔层，M个电极层通孔(31)、M个绝缘间隔层通孔(32)以及M个支撑基板通孔(33)的位置正对，形成电解质溶液的流经通道，该敏感电极的所有绝缘间隔层与电极层集成在同一个硅片上，结构简单，提高了层间对齐精度，简化了加工工艺；绝缘间隔层的厚度可控制为几微米到上百微米，有利于器件性能的调整和优化，电极层与电解质溶液接触的面积大大增加，提高了单片集成式一体化敏感电极芯片的灵敏度。
声明：
“MEMS电化学地震检波器敏感电极芯片及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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