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基于光刻掩膜与微液池的电化学高通量测试方法与装置

706   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:30
本发明基于光刻掩膜与微液池的电化学高通量测试方法与装置涉及金属腐蚀、微区电化学及系统性数据积累应用技术领域。构成包括微液池测试系统、测试液更新系统、高精度XYZ三维移动平台、显微监控系统、电化学测试系统、存储及控制系统及在各系统间控制指令与测试数据有效传输的连接系统。本发明采用模块化设计，可拓展性高，将光刻掩膜技术和微液池测试系统结合，并结合高通量思想，精准控制工作电极反应面积，具有高溶液量/工作电极反应面积比，减小反应产物的影响，消除缝隙腐蚀，降低漏液、堵塞、氧扩散风险的发生，具有更低的溶液电阻，可根据需要选择掩膜图形和微细管尺寸，实现了微区电化学的高通量、自动化测量，提高测量和分析效率。
声明：
“基于光刻掩膜与微液池的电化学高通量测试方法与装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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