本发明提供一种
电化学电镀系统,包括:一个或多个用于储存电镀溶液的电镀池液池和与所述一个或多个电镀池液池流体连通的化学分析器。所述化学分析器配置来测量所述电镀溶液的化学浓度。该电镀系统还包括管道系统,所述管道系统配置来提供所述一个或多个电镀池液池和所述化学分析器之间的所述流体连通,并且将所述化学分析器与由所述一个或多个电镀池液池中的一个或多个电镀池产生的电噪音基本隔离。
声明:
“用于测量电镀溶液的化学浓度的系统和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)