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金属有机物化学气相沉积设备中实时测量薄膜温度的方法及测量装置

784   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:29
金属有机物化学气相沉积设备中实时测量薄膜温度的方法及测量装置，在气相沉积工艺过程中，监测外延片的热辐射通过喷淋孔的辐射光，通过对辐射光进行滤波分离来检测两个或两个以上不同波长的薄膜辐射光能量，本发明的测量装置包括分光机构、光学探测器和数据采集系统，本发明简化掉现有在线测量采用单波长光学测温技术中首先测量薄膜表面发射率的步骤，消除了接收探测器立体接收角的变化和探测器与被测物距离变化所带来的误差，极大地提高了MOCVD在线温度测量仪器的使用范围和测量精度，通过本发明方法进行处理获得更准确的薄膜温度。
声明：
“金属有机物化学气相沉积设备中实时测量薄膜温度的方法及测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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