本发明提供了一种
电化学微震检波器,包括:惯性摆体,其内形成电解液空间,该电解液空间内充有电解液;敏感电极,固定于电解液空间的电解液中,用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号;信号处理电路,其输入端电性连接至敏感电极,用于将敏感电极输出的电信号进行处理,得到负反馈信号;反馈组件,其输入端电性连接至信号处理电路,用于利用负反馈信号向惯性摆体施加与外界震动输入力相反的力,以减小惯性摆体因外界震动输入力而产生的位移。本发明通过一种适用于小型MEMS电化学微震检波器的力平衡负反馈机制,以达到拓展小型MEMS电化学微震检波器工作频带的目的。
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