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金属电化学反应的测试结构及测试方法、电子装置

913   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:28
本发明提供了一种金属电化学反应的测试结构及测试方法、电子装置。所述测试结构包括：待测试的第一金属层；若干测试金属层，所述测试金属层与所述第一金属层同层设置，并且所述测试金属层环绕所述第一金属层中易发生金属电化学反应的区域设置；其中，所述测试金属层和所述第一金属层间隔地设置并形成第一电容结构，用于检测所述第一金属层中是否产生电化学反应缺陷。所述测试结构可以方便执行在线(In‑line)WAT测试，及时发现问题，有效防止更多批量产品缺陷。
声明：
“金属电化学反应的测试结构及测试方法、电子装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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