合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 用于光谱组成分析的晶片颗粒缺陷的活化

用于光谱组成分析的晶片颗粒缺陷的活化

1038   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
本文中描述用于检测晶片表面上的颗粒缺陷，将所述颗粒转化为光谱活性状态，且通过光谱技术来识别所述经活化的颗粒的材料组成的方法及系统。颗粒缺陷是通过化学处理、热处理、光化学处理或其组合转化，使得经活化的颗粒展现可光谱观察的原子振动带。在一个实施例中，表面检验系统检测晶片表面上颗粒缺陷的存在，活化所述经检测的颗粒中的一或多者中的可观察拉曼带，且通过光谱技术来识别所述经活化的颗粒的所述材料组成。通过在相同检验工具上执行缺陷检测及组成分析两者，无需将晶片转移到不同重检工具或工具组合，以执行沉积在半导体晶片上的颗粒缺陷的组成分析。
声明：
“用于光谱组成分析的晶片颗粒缺陷的活化” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：基层全自动体液检验平台及自动化体液分析系统
下一个：在等离子体增强化学气相沉积腔室清洁期间用于终点检测的温度传感器

与 “用于光谱组成分析的晶片颗粒缺陷的活化” 相关技术

▪ 改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪ 高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪ 冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术
▪ 稀散多金属采选冶废弃物减量化、资源化与污染控制及环境管理研究
▪ 含稀土废料界面分选与全组份资源化深度利用
▪ 固态储氢及复杂合金的真空电磁热场熔炼炉
▪ 李红旗镁合金导电抗蚀功能涂层
▪ 使用寿命长的金属超声波探伤仪
▪ 磁性球磨机转筒结构
▪ 能够提升分离效果的筛砂机振动筛料斗

相关化学分析设备推荐

linkam冷热台THMS600
TA-16B01高温接触角测试仪
土壤采样钻
金属合金分析仪
数显单臂电子万能试验机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术
▪稀散多金属采选冶废弃物减量化、资源化与污染控制及环境管理研究
▪含稀土废料界面分选与全组份资源化深度利用
▪固态储氢及复杂合金的真空电磁热场熔炼炉
▪李红旗镁合金导电抗蚀功能涂层
▪使用寿命长的金属超声波探伤仪
▪磁性球磨机转筒结构
▪能够提升分离效果的筛砂机振动筛料斗

报名参会
更多+

2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年08月20日 ~ 22日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:53
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:45
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
8 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记