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电化学机械研磨系统和用于检测研磨终点的方法

1037   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
本发明公开了一种侦测研磨终点的方法和系统,其中放置基材与研磨垫相接触;通过电解液在研磨垫的电极和基材上的一个或多个导电物质之间传送电子讯号,该电子讯号驱动基材上的一个或多个导电物质的电解研磨制程;以及侦测电解研磨的研磨终点,其中上述侦测电解研磨的研磨终点的步骤包含:确定在电解研磨该基材的过程中,自基材移除的总电量;以及将移除的总电量与从基材去除的物质厚度相关联。
声明：
“电化学机械研磨系统和用于检测研磨终点的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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