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用于检测化学物质的微传感器及相关的制造方法

765   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
本发明涉及用于检测流体中的离子的微传感器(100)，该微传感器(100)包括：场效应晶体管(5)，该场效应晶体管(5)具有源极(51)、漏极(52)、在源极(51)与漏极(52)之间的有源区(54)以及被设置在有源区(54)上方的栅极(53)；有源层(4)，在该有源层(4)中形成有源区(54)；介电层(3)，该介电层(3)被设置在有源层(4)下方；支撑基板(1)，该支撑基板(1)被定位在介电层(3)下方并且包括至少一个掩埋腔(2)，所述至少一个掩埋腔(2)位于晶体管(5)的栅极(53)下方以便容纳流体。
声明：
“用于检测化学物质的微传感器及相关的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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