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景泰蓝结构的化学机械抛光中的终点检测

761   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
景泰蓝结构的制造方法,其中金属氧化物层的顶表面与基底上形成的金属结构的顶表面共平面。至少在金属结构的顶表面上淀积氮化物层,在金属结构和氮化物层上淀积金属氧化物层。然后通过使用浆料的化学机械抛光(CMP)工艺,对金属氧化物层进行抛光,暴露金属结构顶表面上的氮化物层。对氮化物层的抛光使氨产生于浆料中。从浆料中提取气体的氨,根据提取氨的浓度产生信号。根据信号的变化终止CMP工艺。
声明：
“景泰蓝结构的化学机械抛光中的终点检测” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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