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滑片检测装置和化学机械抛光系统

1151   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:13
本发明公开了一种滑片检测装置和化学机械抛光系统，所述滑片检测装置包括激光发射器、光纤接收器和控制器；所述激光发射器和光纤接收器设置于V形支架，所述V形支架朝向抛光垫设置，所述激光发射器朝向抛光垫发射激光，光纤接收器接收反射的激光并将其转化为电信号；所述控制器根据光纤接收器的电信号判定是否有晶圆自承载头滑出；所述激光发射器和光纤接收器相对于抛光垫倾斜设置，使得附着于其上的液滴滑落而不封堵激光发射和/或接收的路径。
声明：
“滑片检测装置和化学机械抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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