合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法

亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法

1080   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:52
本发明公开了一种亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法，包括如下步骤：1)记录腔体基准压力；2)设定载气流量为固定值，设定腔体压力为固定值，待载气流量稳定后，记录节流阀的位置A；3)将节流阀所开的位置设定在位置A上，保持载气流量为设定的固定值，腔体压力须在设定的固定值附近；4)分别流入TEOS液体流量，并记录腔体压力；5)计算各TEOS流量下腔体压力和腔体基准压力的差值；6)绘制TEOS流量和腔体压差的变化示意图，正常的TEOS流量和腔体压差变化为一条直线，由此判断不正常情况下的气化阀堵塞。本发明通过TEOS流量和腔体压力差的线性关系来检测气化阀的状况，可更高效及时地发现气化阀堵塞问题。
声明：
“亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：用于检测肿瘤型M2丙酮酸激酶的化学发光免疫试剂盒
下一个：基于光电化学和双链特异性核酸酶的体外piRNA检测方法

与 “亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法” 相关技术

▪ 干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪ 钨矿选矿筛分装置及方法
▪ 冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪ 圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪ 空间用多结太阳电池及其制备方法
▪ 用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪ 新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪ 大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪ 高效工业废气处理工艺
▪ 节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

相关化学分析设备推荐

Thermo Scientific便携式X荧光土壤重金属检测仪XL3t 960
益康 JK2N 多气体检测仪
土壤水分速测仪
便携式重金属锰测定仪
土壤EC速测仪 土壤测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪钨矿选矿筛分装置及方法
▪冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪空间用多结太阳电池及其制备方法
▪用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪高效工业废气处理工艺
▪节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

报名参会
更多+

2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024国际新型功能材料与器件会议
2024国际新型功能材料与器件会议
2024年12月06日 ~ 08日
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024年12月13日 ~ 15日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记