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化学机械研磨垫磨损的检测装置及工作方法

801   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:50
本发明公开了一种化学机械研磨垫磨损的检测装置及工作方法，包括：激光光源，激光光源设置于研磨盘内，激光光源上面覆盖有透明玻璃窗口；检测装置，检测装置安装于修整器的连接杆上；检测装置包括光线接收器、研磨垫监测器和监测器外壳；监测器外壳为开口朝下的盖体，盖体的内壁的上端面设有光线接收器，光线接收器连接有研磨垫监测器。本发明使用光学方法实现了自动实时检测研磨垫的磨损状况，大大降低了因此造成的不良品率。
声明：
“化学机械研磨垫磨损的检测装置及工作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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