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用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统

862   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:50
本发明提供一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统，包括：化学反应子系统；进气子系统，包括气体质量流量计，与所述化学反应子系统相连接；抽真空子系统，与所述的化学反应子系统相连接；气体采集子系统，与所述的化学反应子系统相连接；控制子系统，分别与所述的气体质量流量计、抽真空子系统、气体采集子系统以及化学反应子系统相连接，用于采集所述气体质量流量计的流量，采集所述化学反应子系统的压力值、温度值、气体浓度，根据所述的流量、压力值、温度值以及气体浓度进行控制。实现了对化学气相沉积薄膜过程的实时监控，对工艺参数进行严格控制，并对数据进行存储和显示，提高可靠性和抗干扰性。
声明：
“用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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