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用于化学气相沉积设备喷嘴的流量检测治具

868   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:48
本实用新型公开了用于化学气相沉积设备喷嘴的流量检测治具，包括基板，基板上设置有至少一个上下导通的检测管道，检测管道的侧壁上设置有检测其内气体流量的流量探测计，检测管道上端密封连接有供喷嘴放置的套管，套管的下端插入套管内并通过密封组件与套管密封连接，每个套管正上方均设置有能沿其上下移动的测试头，每个测试头均与驱动组件连接，并在驱动组件作用下移动，测试头分别通过对应设置的气管连通外部气源，外部气源通过测试头朝向喷嘴内提供检测气体。能对喷嘴内喷神通道的最大流量进行快速检测。
声明：
“用于化学气相沉积设备喷嘴的流量检测治具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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