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非破坏性定量检测砷化镓单晶化学配比的方法

888   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:48
非破坏性定量检测砷化镓单晶化学配比的方法; 利 用X射线双晶衍射仪测量半绝缘砷化镓单晶片的晶格常数am; 采用实时仪器校正X射线双晶衍射仪产生的误差, 以高纯(11个″9″)、无位错硅单晶片为标准样品, 每次测量晶格常数后, 测量标准样品的晶格常数, 计算仪器误差 : Δa’=a’－a’0其中, a’0=5.431058A为硅单晶的标准晶格常数; 按下式消除仪器的测量误差, 得到准确的单晶晶格常数 : a=am－Δa’, am为半绝缘砷化镓单晶晶格常数的测量值。
声明：
“非破坏性定量检测砷化镓单晶化学配比的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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