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检测窗口、化学机械抛光垫及抛光系统

906   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:47
本发明公开了涉及化学机械抛光技术领域的检测窗口、化学机械抛光垫及抛光系统。本发明检测窗口设置在抛光层中，包括透光部和加强部，透光部下表面设置凹陷区域，加强部位于凹陷区域内，加强部与透光部一体成型或粘合为一体；所述加强部设置镂空部分，0＜镂空部分横截面积≤凹陷区域横截面积的80％；进一步地，所述加强部中部镂空和/或边缘镂空，优选为加强部中部镂空、互不连通的加强部中部镂空和边缘镂空。本发明提供的检测窗口，窗口强度提高，压缩比减小，能有效降低晶圆划伤，并且提高抛光垫使用寿命。
声明：
“检测窗口、化学机械抛光垫及抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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