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直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法

924   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:42:49
本发明公开一种直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法，该直立石墨烯检测芯片包括：基材和生长于所述基材上的直立石墨烯层，所述基材上预制有一套或多套凹槽，所述直立石墨烯层生长填充于所述凹槽内，形成有一个或多个电化学电极集成化检测芯片结构；所述直立石墨烯层的高度小于或等于所述凹槽的深度。所述制作方法包括以下步骤：提供一基材，并在所述基材上预制一套或多套凹槽；在所述凹槽内生长直立石墨烯层；对生长完成的直立石墨烯层进行处理，使所述直立石墨烯层的上表面与所述基材的上表面相平齐。本发明基材上的凹槽对纳米级脆弱的直立石墨烯层具有保护效果，且一定程度上降低了检测芯片的厚度，提高了后续应用的稳定性和可靠性。
声明：
“直立石墨烯电化学电极检测芯片及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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