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终点检测方法、系统及化学机械抛光装置

933   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:42:48
本发明适用于化学机械抛光技术领域，提供了一种终点检测方法、系统及化学机械抛光装置，其中方法包括在晶圆抛光期间：获取抛光盘的运行参数；消除所述运行参数的波动影响以得到归一化的摩擦因子；根据所述摩擦因子确定抛光终点。本发明提高了在化学机械抛光过程中进行终点检测的准确率，有效地保证了抛光质量。
声明：
“终点检测方法、系统及化学机械抛光装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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